FFU 风 机 过 滤 单 元

什么是FFU?

FFU(Fan     Filter     Units)是风机和过滤器的组合，也可以称为“自带风机的过滤设备”。FFU  通常安装在洁净 室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU 上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。 根据洁净度为的要求，过滤器可为不同等级的高效(HEPA)   或超高效(ULPA)   过滤器，为洁净室提供洁净空 气。风机模块除了要克服FFU 下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的 运行风速。FFU 系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系 统形式之一。

FFU 具有特点：

第一：灵活性。因为FFU 是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。 而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU 的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不 会带来二次投资。

第二：可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU 设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次作用。

第三：负压通风。这是FFU 的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样， 静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。

第四：缩短建设周期。使用FFU 省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一 个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU 成为了一种可能。

第五：减少运行成本。虽然在选用FFU 时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现节能、 免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。

FFU 组合的关键性能参数：

模数尺寸 (ceiling    modular     size): 安装吊顶龙骨中国心线的间距，FFU常用的标准模数尺寸为1200*600 (4’*2‘),1200*900(4’*3‘),1200*1200(4’*4‘)。

实际尺寸(actual    size):清新净化的FFU过滤器的实际尺寸=模数尺寸-(龙骨断面宽度25mm),    风机模块的 实际尺寸比过滤器稍大4mm。 比如说常用的吊顶龙骨端面宽度为55mm,  模数尺寸为1200,900,600所对应的 FFU 过滤器实际尺寸为1170,870,570,风机模块的实际尺寸为1174,874,574。

机外余压(ESP):     在某一设定风速下，风机模块的总静压(TSP)   扣除HEPAIULPA  过滤器的阻力，即为机 外余压(ESP),  单位是Pa 。ESP是指FFU 整机能克服洁净室循环风阻力的能力，无论是标注FFU机外余压或风机模 块的总静压TSP, 都必需指名送风风速或风量，否则没有意义。

输入能耗(input    power   consumption):FFU正常运转时输入电压和输入电流的乘积，单位是W。显 然 ， FFU 在不同的运行工况点，即在不同的运行风量和总静时，输入能耗不同。因此，如果不指明运行工况点，输入能 耗值没有意义。

单体噪音(noise       level): 根据标准IES-RP-CC002,FFU      正常运转时在距离出风面中心正下方1.2mm处  的噪音值，单位是dB(A) 。FFU    在不同的运行工况点，即在不同的运行风量和总静压时，噪音不同。因此，如果 不指明运行工况点，噪音值没有意义。

微振(micro  vibration):根据标准IES-RP-CC002,FFU     在最大运转工况点时的振动幅度和振动速率，单

位分别是mm和mm/s。

送风均匀度(air        uniformity):根据标准IES-RP-CC002,FFU      正常运转时，在距离出风面上方150mm (6’)的水平面上测量逐点的风速，得出平均风速值。平均风速与最大风速和最小风速的偏差比即为送风均匀度， 单位为+/-%。标准IES-RP-cC002   中要求FFU 的任一点的送风风速与其平均风速的偏差均应在+/-20%以内。

过滤器效率等级(filtergrade):依据欧洲标准EN1822,  过滤器等级从H10-H14。U15-U17。   或依据美国 标准MIL-282(HEPA),       对于0.3um的效率值；依据美国标准IES-RP-CC0071,     对于0.12um的效率值。

FFU 的风机模块具有如下特点：

性能可靠：采用国内出口品牌的内转子马达及直驱离心叶片和电的敢元器件。

型号齐全：根据马达有交流(AC)  和无刷直流(EC);  根据输出静压有标准型和高静压型；根据模数尺寸有 1200*600,1200*900,1200*1200,1500*750;根据箱体材质有锌铝涂层钢板(标准型)、不锈钢型、铝 板。

优异的出风均匀度：达到并优于国际标准IES、RP、CC-002  中的+/-20%的要求。

低噪音：科学的马达风机选型和转一速设计、独特的导流和消音材料的应用、合理的箱体尺寸设计，使富士通洁净 FFU 的噪音水平低于同类产品。

低微振：总振动速率均小于1mm/s, 振幅不超过4um 低能耗和低散热量，一流的风机品质和动平衡设计，以及箱体 本身的零压损，使富士通洁净FFU 在同样的输出工况时运行能耗和散热量低于同类产品。

技术参数